近日，6辆挂着红绶带、载着异质结量产（HIT）PECVD设备的大型卡车，缓缓驶出位于泰兴高新区的理想万里晖真空装备有限公司厂区，启程运往四川。
“这标志着国内高端太阳能电池制造有了自己的关键生产设备——异质结（HIT）PECVD设备，并且由此步入批量生产阶段。”四川汉能集团高端太阳能电池事业部副总裁刘明说。
据了解，PECVD设备是一种等离子体增强型化学气相沉积设备，主要作用是将光能转换成电能，形成异质结（HIT）太阳能电池。相比于传统晶体硅太阳能电池，异质结（HIT）太阳能电池可大幅提升发电量。
近年来，太阳能电池高端化应用日趋明显，市场上先后出现了在弱光下仍可发电、超高性能的薄膜太阳能电池、异质结（HIT）太阳能电池。然而，由于国内缺乏PECVD这一高端电池的关键生产设备，太阳能高端电池制造一直为欧美日等国家所控制。
2009年，从国外归来的钱学煜、陈金元两位博士在上海组建研发团队，成立理想能源设备（上海）有限公司。整个团队用了8年多时间，先后投入十多亿元，申请获得国际国内专利50多项，终于研发出PECVD高端设备，彻底打破国外垄断。项目被国家科技部列入“863”计划重大科技项目并成功完成，关键技术获得专家组“具有独创性”的好评。
2017年初，上海理想万里晖薄膜设备有限公司在泰兴高新区投资1亿元，设立PECVD高端装备制造生产基地，年可生产异质结（HIT）高效电池PECVD高端装备20台。
“PECVD设备是异质结（HIT）太阳能电池生产线上最关键的设备。”陈金元博士说，太阳能电池发电效率和质量主要由其决定，掌握PECVD设备关键技术对设备国产化的推进至关重要。
此次理想万里晖真空装备有限公司首批量产的PECVD设备，产品性能媲美国际一流设备，设备价格比国外进口设备低30%以上。生产出的异质结（HIT）太阳能电池主要参数优于从美国进口的一流设备生产出的电池。
该设备在实验阶段就受到国内多家大型企业的关注。四川汉能集团使用该PECVD实验设备，开发出国内领先的异质结（HIT）太阳能电池。“作为理想万里晖的忠实客户，我们从实验线机台开始已经3次下单购买PECVD设备。”刘明说，“目前，我们采用理想万里晖的设备做出的异质结（HIT）太阳能电池，光电转化效率近23%，达到国际先进水平。”
目前，理想万里晖真空装备有限公司的在手PECVD设备订单生产任务排得满满的。为了迎接日益增长的订单量，在泰兴高新区全力支持下，该企业正在筹建新厂房，预计2018年6月交付使用。达产后，PECVD设备年生产能力将近100台。
